자기커플링회전도입 - magnetic coupled feedthrough

기술용어통 반디통 용어집
진공분위기 속에서 회전시킬 경우에 있어서, N극 S극의 자기결합력을 이용하여 외부회전구 동력을 전달하는 방식. 비접촉회전이며, 많은 경우 진공과 대기와의 사이에 차단벽을 갖는 구조이므로, 진공봉합(seal)의 수명은 무한대이고, 높은 진공을 유지하는 데 유효하다.
기술용어통 category-bandi 기본․공통 웨이퍼처리공정

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