마술거울법 - magic mirror

빛을 웨이퍼표면으로 반사하여, 미소한 왜곡 등에 의해 발생하는 표면미소변형을 굴곡분포와 함께 파악하고, 관측면에서 명함분포로 표시하는 방법. 이 때 웨이퍼의 일부에 오목한 부분이 있으면, 이 오목한 부분은 오목거울로 작용하여, 밝은 부분과 어두운 부분에서 조도(照度)변화가 생긴다. 볼록한 부분은 밝은 부분이 반전되지만, 똑같이 조도변화가 생긴다.