긴 치수 정밀도 - long dimension accuracy

칩 내의 패턴 위치, 칩 간의 패턴의 상대위치 혹은 층간의 상대위치 등을 나타내는 긴 치수(long dimension)의 정밀도. 마스크의 중복정밀도 측정과 묘화장치의 관리에 이용되며, 좌표측정장치로 측정된다. 측정항목은 개별 피치(pitch), 토탈 피치, 직교도(直交度), 칩 로테이션, 칩 배율, 삽입패턴의 위치 부정합 등이 있다.