로드락챔버 진공예비실 - load

처리실을 대기(大氣)중으로 개방하지 않고 웨이퍼를 반입, 반출하는 진공실. 처리실의 처리 전후, 또는 전이나 후의 어느 한 때에 밸브를 삽입한 후 진공배기장치를 작동시켜 처리실을 항상 진공으로 유지하는 것이 가능하다.