액체봉지쵸크랄스키법 가압쵸크랄스키법 - liquid encapsulat - ion Czochralski method high pressure Czochralski method
기술용어통 반디통 용어집
봉지제(B2O3, NaCl 등)를 결정소재와 함께 도가니에 충전하고, 결정성장 분위기(ambient)에 불활성, 가스를 도입시켜 넣고 압력을 가하여, 화합물반도체 등의 용융점에서의 높은 증기압(해리압)을 갖는 반도체물질이 증발해 날라가는 것을 막으면서 결정을 끌어올리는 방법.
