액체미립자계수기 액체파티클카운터

초순수 중에 부유하는 미립자의 상대적인 크기와 수 혹은 입자농도를 자동적으로 측정하는 계기. 원리는 광산란식이 이용되고 있다. 약액용으로는, 내부식성의 검출부로 구성된 것으로 약액용미립자카운터가 있다.