균열관 - liner tube

기술용어통 반디통 용어집
각종 가열원을 이용하여 시료를 가열하는 장치에 있어서, 가열원의 온도가 그대로 시료속으로 전달하지 않게, 가열원과 시료 사이에 넣어 시료를 가열할 때 온도를 균일하게 하기 위한 용기. 주로 관(파이프) 모양의 용기가 사용된다.
기술용어통 category-bandi 산화장치 웨이퍼처리공정 산화 liner tube 균열관

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