라인앤드스페이스 L&S

직선상에 패턴의 폭을 라인, 이것이 같은 간격으로 나란히 배열된 경우의 라인과 라인의 간격을 스페이스라고 부른다. 라인과 스페이스의 폭이 같은 상태에서 웨이퍼 위에 투여되는 상을 라인앤드스페이스라고 한다. 보통, 해상성능을 표시하는 척도로 사용된다.