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리프트오프법 - lift off method

기술용어통 반디통 용어집
마스크의 백결함을 수정하는 수단으로써, 레지스트를 도포하고, 스폿 모양의 자외선으로 수정부분을 조사하고, 현상하여 레지스트를 제거한 후에 크롬 등의 차광막을 증착하여, 레지스트와 함께 비수정부분의 크롬을 제거하는 방법
기술용어통 category-bandi 검사장치 마스크제조공정 결함수정장치 lift off method 리프트오프법