라이프타임측정기 - lifetime measurement system

기술용어통 반디통 용어집
반도체시료 속으로 주입 또는 생성된 소수캐리어의 재결합 등에 의해, 초기의 캐리어 농도가 로 감쇄될 때까지의 시간을 측정하는 장치. 측정방법에는 광도전감쇄법, 파검출광감쇄법, SPV법(교류광전압), 정전용량-시간법 등이 있다.
기술용어통 category-bandi 물성검사장치 검사 웨이퍼제공정 lifetime measurement system 라이프타임측정기

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