거울면웨이퍼표면검사장치 LSM표면검사장치 - laser surface scanner light scattering measurement system

웨이퍼 표면에 레이저 등의 빛을 조사하여, 웨이퍼 표면의 이물과 미립자의 크기, 밀도분포 등을 측정하는 장치. 특히 표면에서 500㎚정도의 깊이까지 존재하는 결정결함의 측정도 가능한 장치를 LSM표면검사장치라 한다.

기술용어통 category-bandi 거울면웨이퍼표면검사장치 LSM표면검사장치 검사 표면 결함․이물검출 웨이퍼제공정 laser surface scanner light scattering measurement