레이저빔(Nd:YAG가 주류)를 웨이퍼 표면에 조사하여 열로 표면에 도트(구멍)을 만들어 형성된 마크(mark). 최저5(가로)×9(세로)의 도트매트릭스에서 OCR 영자 및 숫자를 인식하여 벤더(vendor)명칭, 랏(lot)번호, 특성 등의 웨이퍼식별정보(ID 마크)로 하여, 프로세스에서의 웨이퍼 트래킹, 제작관리 등에 사용된다. 도트 깊이는 절단 후에 하느냐, 폴리싱 후에 하느냐에 따라 다르다.
기술용어통category-bandi검사웨이퍼제공정형상용어레이저마크 ID마크laser mark ID mark
