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레이저 묘화장치 - laser lithography system
기술용어통 반디통 용어집
마스크 또는 웨이퍼 위에 레이저광․라스터 스캔방식을 이용하여 패턴을 묘화하는 장치.
기술용어통
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노광․묘화장치
마스크제조공정
패턴형성장치
레이저 묘화장치
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