레이저 균일방사기 - laser homogenizer

기술용어통 반디통 용어집
엑시머 레이저 등 가우시안 분포를 하는 빔프로필을 전범위에 걸쳐 균일한 빔 강도로 분포하게 하는 광착장치. 광학 줌(zoom)식에 의해 대형 균일빔을 얻을 수 있어, 레이저 어닐장치 등에 장착되어 있다.
기술용어통 category-bandi 어닐장치 웨이퍼처리공정 어닐 레이저 균일방사기 laser homogenizer

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