레이저빔 수정장치 - laser beam repair system

마스크에 스폿 모양의 레이저광을 조사하여 마스크의 흑결함을 수정하는 장치. 결상광학계를 이용하여 파일럿광으로 수정위치를 확인하고, 마스크 위에 개구상을 맺어 레이저빔을 비춰준다. 스폿노광으로 레지스트를 노광하는 기능과 레이저 CVD로 Cr과 Mo 등의 금속을 석출하여 백결함을 수정하는 기능을 갖는 것도 있다.