레이저 CVD장치 - laser assisted CVD system

레이저광의 에너지로 기체분자를 분해하고, 저온으로 웨이퍼 위에 박막을 형성하는 CVD장치. 레이저의 파장에 따라 자외선레이저(전자여기)CVD장치와 적외선레이저(진동여기)CVD장치로 구분된다.