등방성식각 - isotropic etching

수평방향과 깊이방향의 식각속도가 거의 같은 경우의 식각. 등방성이 크면 식각된 모양이 반구형(semispheral)이 된다. 보통, 습식식각을 하며, 단차가 심한 공정에서 스트링거(stringer)를 제거하고, 금속콘택 등에서 단차피복성을 좋게 하는 데, 이용된다.