IPA증기건조 - IPA vapor drying

이소프로필아르곤(IPA)의 가열 증기 중에 웨이퍼를 넣어, 응축IPA로 부착된 순수를 치환하면서, 웨이퍼를 증기온도까지 상승시켜 건조하는 방식. 오염 없이 건조할 수 있으며, 웨이퍼의 정전기제거 효과도 있다. 사용 IPA의 수분관리와 가열성에 대한 안전대책이 중요하다. 한편 불연성혼합용매 파플로로카본/트리플로로에탄올을 IPA에 대용하는 방법도 실용화되고 있다.