클러스터․이온빔 증착장치 - ionized cluster beam evaporation system
기술용어통 반디통 용어집
고진공 중에서, 10-2～10-3개의 원자가 모인 클러스터를 이온화하고, 가속시켜 웨이퍼에 충돌․퇴적시키는 장치. 증발원은 클러스터증발원인데, 증발셀(cell)의 증기배출구를 작은 노즐로 만들어 셀의 안과 밖의 압력차를 크게 하여 분출시킨다. 이 때, 증기가 단열팽창하는 과정에서 클러스터가 생성된다. 열전자방출 필라멘트와 양극(陽極)을 이용한 전자충격으로 클러스터를 이온화한다.
