이온원 - ion source

각종 원소의 플라즈마를 생성하는 부분. 방전하는 종류에 따라 직류형․고주파형 및 마이크로파형이 있다. 직선 모양의 필라멘트를 갖는 프리만형과 나선(螺線)모양의 필라멘트를 갖는 바너스형이 있다. 바너스형은 프리만형에 비하여 플라즈마에 의한 필라멘트의 소모비율이 작고, 보다 많은 다가(多價)이온을 얻을 수 있다는 장점을 갖고 있다.