이온주입 장치 - ion plating system

웨이퍼를 음극측에 설치하고, 글로우(glow)방전을 일으켜, 증발원에서의 증발원자를 이온화 또는 여기(與氣)시켜, 가속하고, 기판에 충돌시켜 퇴적하게 하는 진공증착장치. 이온플레이팅은 밀착성이 강한 피막을 얻을 수 있고, 부착력이 좋으며, 막질이 좋은 화합물피막을 얻을 수 있는 등의 특징이 있다.