이온마이크로프로브분석법 IM(M)A - ion micro probe(mass) analysis method

기술용어통 반디통 용어집
일차이온을 직경 1～2마이크로미터(㎛)의 점에 집중시켜, 이 일차이온으로 표면물질을 스퍼터이온화하여, 질량분석계로 분석하는 방법. 시료표면의 원소 혹은 동위체 분포는 일차이온빔의 동기조사와 오실로스코프를 이용하여, 확대상으로서 표시한다.
기술용어통 category-bandi 물성검사장치 검사 웨이퍼제공정

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