이온빔 리소그래피 - ion beam lithography

광원으로 이온빔을 사용하는 노광장치. 광폭(broad)의 빔과 마스크를 이용한 일괄이온빔 리소그래피와 집속이온빔을 이용한 직접묘화법이 있다. 전자선에 비하여 질량이 크고, 축적에너지 밀도를 크게 할 수 있다는 등의 이점이 있다.