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이온빔 식각장치 이온밀링 장치 - ion beam etching system ion milling system
기술용어통 반디통 용어집
이온원을 정전위 상태로 유지하고, 불활성가스를 이용하여 플라즈마를 생성하며, 이온원에 의해 불활성가스 이온을 인출하여 웨이퍼에 조사(照射)하고 식각하는 장치.
기술용어통
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건식식각장치
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