격자간산소 - interstitial oxygen

실리콘의 결정격자 사이의 공간에 존재하는 산소. CZ법으로 성장한 실리콘 단결정 중에는 1018개/㎤정도의 산소가 함유되어 있다. 이것들은 격자간에 존재하고 있다. 이것에 대하여 실리콘 단결정 속에 포함된 탄소는 실리콘원자와 치환되어 존재하는 것이므로, 치환형 탄소라고 한다.