잉곳단면형상측정장치 - ingot end face bow measuring system

기술용어통 반디통 용어집
절단기에 있어서, 절단된 잉곳의 단면 형상을 측정하는 장치. 얇은 판에 절단한 반도체재료는 그 겉과 속의 가공이 불규칙하기 때문에 형태가 변하고, 형상판단이 어렵다. 그러나, 잉곳 단면은 절단흔적이 남아있어 형상판단이 가능하다.
기술용어통 category-bandi 기계가공 웨이퍼제공정 절단장치-가공용어

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