적외선토모그래프 IR - LST - infrared laser scattering tomography

기술용어통 반디통 용어집
적외선을 Si 웨이퍼의 표면 또는, 쪼갬면에서 조사할 때, Si 웨이퍼 안의 벌크․마이크로․결함(defect)과 OSF 등의 미소결함으로 산란한 빛을 쪼갬면 또는 표면에서 관찰하여 웨이퍼 안의 미소결함의 크기, 분포를 측정하는 장치.
기술용어통 category-bandi 물성검사장치 검사 웨이퍼제공정

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