ICP - MS - inductively coupled plasma mass spectrometer

용액 중에 함유된 ppt레벨의 미량금속을, 다원소동시분석하는 분석계. 시료를 유도결합플라즈마(ICP)로 보내, 고온가열하여 증발이온화시킨 후, 사중극 플라즈마필터에 의해 측정원소를 질량별로 검출한다. 최근에는, 서브ppt레벨까지 측정할 수 있는 고분해능의 이중수속형ICP-HR-MS가 사용되고 있다.