고주파유도 가열진공 증착장치 - induction heating evaporation system

증발재료에 고주파 유도전류를 유기시켜, 증발재료 스스로를 가열(加熱)시키는 진공증착장치. 이 방법은 전기적 유도재료에만 유효하고 절연체에는 적당하지 않지만, 하전입자에 의한 손상이 적다.

기술용어통 category-bandi 고주파유도 가열진공 증착장치 웨이퍼처리공정 induction heating evaporation system 진공증착장치 박막형성장치