인라인가스필터 - in - line gas filter

반도체제조장치의 입구와 가스공급장치의 출구 등에 설치되며, 반도체제조용가스 중의 미립자를 포획제거하기 위한 정밀 필터, 종래에 문제가 되었던, 멤브레인 필터에서의 수분 및 하이드로카본을 중심으로 하는 아웃가스에 의한 오염을 없앨 수 있는, 올스테인레스필터도 있다.