얼음분사 세정장치 아이스크리닝장치 - ice jet cleaning equipment ice cleaning equipment

초순수(超純水)를 액체질소로 -50。C 이하로 냉각하여 동결시키고 직경 0.1～300㎛의 미립수를 N2가스 등으로 세정대상물 표면에 분사하여, 세정하는 장치. 얼음입자의 충격력 및 마찰력효과, 저온효과 등에 의해, Si 웨이퍼 표면 위의 미립자제거에 유효하다.

기술용어통 category-bandi 웨이퍼처리공정 습식세정장치 세정 얼음분사 세정장치 아이스크리닝장치 ice jet cleaning equipment ice cleaning equipment