수소 터미네이션 수소종단화

웨이퍼의 가장 바깥 표면에 Si 원자가 수소와 결합하여, 안정화되어, 소수성(물과 반응하지 않는)표면으로 되는 상태. 산화막을 불소산수용액으로 처리한 후에 발생되지만, 완전하지 못한 것도 있어, 이 경우에는 시간경과에 의해 자연산화막이 형성된다.