불산모니터 - hydrogen fluride monitor

기술용어통 반디통 용어집
웨이퍼세정에 이용하기 위한 초순수로 희석된 불화수소산의 농도감시용모니터. 측정방법은, 불소수지몰드제의 전자유도식 도전률전극을 이용하여 검출한다. 측정범위는 0～5%이다. 불산수지에는 먼지가 적게 일어나는 PFA를 이용한다.
기술용어통 category-bandi 설비․환경공정 물 폐수처리장치

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