불소과산화 수소세정액 - hydrofluoric acid hydrogen peroxide mixture cleaning solution

0.5% 불소산에 1～10%의 과산화수소를 혼합한 세정액으로, 영어의 첫 글자(initial)을 따서 FPM액이라고도 한다. 불소산만으로 세정하면 구리오염이 생기지만, FPM액은 구리오염이 없고 실온(室溫)에서 침적처리하면서 웨이퍼의 산화막과 금속오염이 제거된다. 세정면에 자연산화막도 형성되지 않는다.