하이브리드 스캔 - hybrid scan

기술용어통 반디통 용어집
빔스캔(정전스캔, 자석 스캔)과 기계적 스캔을 조합하여 주입균일성을 얻는 주사방법. 예를들어, X방향의 스캔은 웨이퍼디스크를 고속회전시키는 기계적 스캔을 하고, 동시에 전기장이나 자기장을 이용한 이온빔을 Y방향으로 스캔시킨다.
기술용어통 category-bandi 이온 주입장치 웨이퍼처리공정 도핑

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