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고온벽 (핫 월) - hot wall
기술용어통 반디통 용어집
CVD장치에 있어서, 반응실의 바깥쪽에서 히터로 가열하여 반응실 안의 웨이퍼를 가열하는 방법. 반응실 벽의 온도가 고온이기 때문에 고온벽이라 부른다.
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고온벽 (핫 월)
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고온벽 _핫 월_
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