고전압리소그래피 - high voltage lithography

기술용어통 반디통 용어집
비교적 에너지가 높은 전자빔(보통, 50KV 이하)을 이용하여 패턴을 묘화하는 것. 레지스트 내에서의 전자빔의 산란효과를 감소시키기 위한 해상도가 높은 레지스트 상을 형성할 수 있다.
기술용어통 category-bandi 노광․묘화장치 마스크제조공정 패턴형성장치 high voltage lithography 고전압리소그래피

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