고압전자현미경법 HVEM - high voltage electron microscopy

기술용어통 반디통 용어집
가속전압이 보통의 전자현미경의 40～100kV에 대하여, 106V정도의 전자현미경. 시료투과율의 향상, 시료손상의 경감, 이론적 해상도의 향상 및 효과적으로 암시야(暗視野)조작 등이 가능하다.
기술용어통 category-bandi 물성검사장치 검사 웨이퍼제공정 high voltage electron microscopy 고압전자현미경법 HVEM

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