고주파유도가열법 - high frequency heating method

고주파발진기에 의해, 고주파로 변환된 전류를, 가열하려는 물질 주위에 감은 가열코일에 흘려주어, 이 코일로 만들어지는 고주파 자속에 의해 유도되는 와전류로 가열하려는 물질(저항체)를 가열하는 방법.

기술용어통 category-bandi 단결정제조장치-형식 웨이퍼제공정 단결정제조 고주파유도가열법 high frequency heating method