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HEPA필터 - high efficiency particulate air filter HEPA filter

기술용어통 반디통 용어집
정격 풍량으로 입자직경이 0.3㎛의 입자에 대응하여 99.97%이상의입자포집률을 갖고, 또 초기압력손실이 일반적으로 300Pa(30㎜H2O)이하의 성능을 갖는 공기필터. 일반적으로 청정실공기공급의 최종단계에 이용한다.
기술용어통 category-bandi 가스 설비․환경공정 가스공급시스템