불소산첨가 순수 - HF added pure water

기술용어통 반디통 용어집
5~10ppm의 불소산을 첨가한 순수. 불소산 산화막제거처리한 후 웨이퍼린스를 사용하면, 단순하게 순수만 사용한 것과는 달리 린스 할 때와 공기 중에 보관할 때, 자연산화막 성장을 현저하게 억제할 수 있다. 또 불산의 살균력에 의해 순수(純水)시스템에서의 박테리아 발생을 방지할 수 있다.
기술용어통 category-bandi 웨이퍼처리공정 습식세정장치 세정 불소산첨가 순수 HF added pure water

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