성장결정최대직경 - growing crystal diameter

결정제조장치의 크기를 나타내는 지표. 실리콘 결정에서는 그 쵸크랄스키장치에 설치할 수 있는 도가니 직경이 1/2.5～1/3의 결정직경을 성장시키는 것이 결정의 양품수율과 결정특성상 좋다.

기술용어통 category-bandi 웨이퍼제공정 단결정제조 growing crystal diameter 단결정제조장치-성능․정밀도 성장결정최대직경