가스공급제어장치 - gas supplying system

반도체제조장치에 있어서, 각종 재료가스의 공급량이 설정값을 유지하게 하는 장치. 주로 압력 및 유량을 제어하며, 가스를 혼합할 때도 있다. 유량제어기(mass flow controller, MFC), 전환밸브, 레귤레이터, 반도체압력센서, 필터 등을 패널박스에 넣어 사용한다.