가스도입계 - gas feed system

기술용어통 반디통 용어집
이온원으로 가스를 도입하기 위한 시스템(系). 가스박스에서 이온원까지의 가스도입배관과 가스박스의 2부분으로 구성된다. 보통 여러 개의 가스라인이 설치되어 있어, 주입이온의 종류에 맞게 사용이온을 선택한다.
기술용어통 category-bandi 이온 주입장치 웨이퍼처리공정 도핑 gas feed system 가스도입계

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