가스크로마토그래피질량분석계 GC - MS - gas chromatography mass spectrometer

가스크로마토그래피에 의해 분리된 가스를 이온화시켜, 질량분석법으로 분석하는 계기. 모노실란 등의 특수재료가스의 미량불순물에 적용시켜, ppt 레벨의 분석이 가능하다.

기술용어통 category-bandi 가스 가스크로마토그래피질량분석계 GC-MS 설비․환경공정 가스공급시스템 gas chromatography mass spectrometer