가스박스 - gas box

기술용어통 반디통 용어집
이온발생용 가스통(gas bottle)의 수납상자. 보통 3~4개의 가스통이 수납되어 있다. 각 가스라인은 가스통, 감압(減壓)밸브, 정지밸브(stop valve) 및 유량조절밸브 등으로 구성되어 있다. 독성가스를 사용하기 때문에, 국소적인 배기(排氣) 등의 가스누설에 대한 안전대책이 마련되어 있다.
기술용어통 category-bandi 이온 주입장치 gas box 웨이퍼처리공정 도핑 가스박스

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