갈륨스테인 - gallium stain

기술용어통 반디통 용어집
액체 금속 갈륨을 이온원으로 하는 이온빔으로 마스크 패턴의 결함을 수정할 때, 수정부분 및 수정부분 근방에 주입된 갈륨. 이것들에 의해 수정부분 및 수정부분 근방의 유리부의 투자율이 낮아진다.
기술용어통 category-bandi 검사장치 갈륨스테인 마스크제조공정 gallium stain 결함수정장치

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