도가니 - furnace

기술용어통 반디통 용어집
결정을 성장시키기 위한 용기. 원료를 용해, 유지하고, 그것으로부터 결정을 성장시킨다. 따라서 재질로서는 용융되거나 반응하지 않으며 불순물함량이 적은 것이 바람직하다. 현재 실리콘결정성장용에는 석영유리가, 화합물반도체용에는 질화붕소 등이 사용된다. 모양은 일반적으로 단순한 단층구조가주를 이루지만 연속 충전(charge)법이나 이중 도가니법에 있어서는 바깥도가니와 속 도가니의 이중구조를 가지고, 속 도가니의 옆면에 구멍을 뚫어 바깥도가니에 원료를 공급하여 속 도가니로부터 결정을 끌어내는 2중도가니가 사용되고 있다. 또, 석영유리는 실리콘용융점에 가까운 고온으로 변형하므로 바깥에 지지용 흑연도가니도 사용되고 있다.
기술용어통 category-bandi 웨이퍼제공정 단결정제조 단결정제조장치-하드웨어기능 도가니 furnace

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