집속이온빔 수정장치 FIB 리페어 - focused ion beam repair system

기술용어통 반디통 용어집
전자와 비교하여 질량이 무거운 이온을 가속, 집속시켜 마스크를 수정하는 장치. 반응성 가스를 불어넣은 카본 또는 금속을 석출하여 백결함을 수정하기도 하고, 마스크 표면의 크롬 등을 스퍼터링하여 흑결함을 수정할 수도 있다.
기술용어통 category-bandi 검사장치 마스크제조공정 결함수정장치

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