불화탄소회수장치 - fluoro carbon recovery system

불화탄소류의 흡착제에 흡착시켜, 탈리, 액화, 정제 등을 실시하는 장치. 전체를 그 자리에서 처리하는 온사이트형과, 흡착제에 농축된 것을 회수하여 각각의 처리장소에서 후공정으로 처리하는 오프사이트형이 있다.